Mikrosystemtechnik - Ulrich Hilleringmann

Blick ins Buch

Mikrosystemtechnik (eBook)

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen

Ulrich Hilleringmann (Autor)

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2008 | 2006
X, 274 Seiten
Vieweg & Teubner (Verlag)
978-3-8351-9022-1 (ISBN)

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Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Der Begriff 'Mikrosystemtechnik' - Aufbau eines Mikrosystems - Prozesstechnik - Basisprozesse der Mikrosystemtechnik - Sensor- und Aktoreffekte - Anwendungen der Mikrosystemtechnik - Hybride Systeme

Erscheint lt. Verlag	13.2.2008
Verlagsort	Wiesbaden
Sprache	deutsch
Themenwelt	Mathematik / Informatik ► Informatik
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Berechnung • BranchenIndex Online • Elektronik • Fachinformatiker • Ingenieurstudium • Mikrosystem (MEMS) • Mikrosystemtechnik • Privatdozent • Prüfungsvorbereitung • Sensor • Siemens • System • Systeme • Systemtechnik • VDE
ISBN-10	3-8351-9022-9 / 3835190229
ISBN-13	978-3-8351-9022-1 / 9783835190221

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