Mikrosystemtechnik
Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Seiten
2006
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2006
Vieweg & Teubner (Verlag)
978-3-8351-0003-9 (ISBN)
Vieweg & Teubner (Verlag)
978-3-8351-0003-9 (ISBN)
Lehrbuch und Nachschlagewerk zur Mikrosystemtechnik
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Diejeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Diejeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.
Prozesstechnik.- Basisprozesse der Mikrosystemtechnik.- Sensor- und Aktoreffekte.- Monolithisch integrierte Mikrosysteme.- Hybride Systeme.
| Erscheint lt. Verlag | 25.4.2006 |
|---|---|
| Zusatzinfo | X, 274 S. |
| Verlagsort | Wiesbaden |
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 370 g |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Angewandte Physik |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Schlagworte | Aktuatoren • ATZ elektronik • Berechnung • Berechnungen • Berufsakademie • Branchenindex • BranchenIndex Online • Dozent • driveIT • Elektroingenieur • Elektroingenieure • Elektronik • Entwicklung • Fachinformatiker • Fachschule • Fachschulen • Hardware • Ingenieurstudium • Lehramt • Mikroelektronik • Mikromechanik • Mikrooptik • Mikrosystem (MEMS) • Mikrosystemtechnik • Mikrosystemtechnik; Handbuch/Lehrbuch • Physiker • Privatdozent • Privatdozenten • Prüfungsvorbereitung • Sensor • Sensoren • Siemens • System • Systeme • Systemingenieur • Systemingenieure • Systemtechnik • Teubner • Theorie • VDE • viewegteubner • Vieweg+Teubner • ZVEI |
| ISBN-10 | 3-8351-0003-3 / 3835100033 |
| ISBN-13 | 978-3-8351-0003-9 / 9783835100039 |
| Zustand | Neuware |
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