Silizium-Halbleitertechnologie

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Ulrich Hilleringmann (Autor)

Buch | Softcover

XI, 275 Seiten

2019 | 7., überarb. u. erg. Aufl. 2019
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH (Verlag)
978-3-658-23443-0 (ISBN)

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Silizium-Halbleitertechnologie

Ulrich Hilleringmann

2023, 8. Auflage

Buch | Softcover

CHF 55, ⁹⁵

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Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert.

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Herstellung von Siliziumscheiben.- Oxidation des dotierten Siliziums.- Lithografie.- Ätztechnik.- Dotiertechniken.- Depositionsverfahren.- Metallisierung und Kontakte.- Scheibenreinigung.- MOS-Technologien zur Schaltungsintegration.- Erweiterungen zur Höchstintegration.- Bipolar-Technologie.- Montage integrierter Schaltungen.

Erscheinungsdatum	20.01.2019
Zusatzinfo	XI, 275 S. 177 Abb.
Verlagsort	Wiesbaden
Sprache	deutsch
Maße	168 x 240 mm
Gewicht	544 g
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Ätztechnik • Bipolar • Bipolarschaltung • Bipolartechnik • Bipolar-Technologie • Chip • CMOS • Depositionsverfahren • Dotiertechniken • Dotierung • Elektronik • Elektrotechnik • Halbleitertechnik • Höchstintegration • Integrierter Schaltung • Lithografie • Metallisierung • Oxidation • Schaltungsintegration • Silizium
ISBN-10	3-658-23443-1 / 3658234431
ISBN-13	978-3-658-23443-0 / 9783658234430
Zustand	Neuware