Ion Implantation Technology - 94 (eBook)
1030 Seiten
Elsevier Science (Verlag)
978-0-444-59972-8 (ISBN)
The aim of these proceedings is to present and stimulate discussion on the many subjects related to ion implantation among a broad mix of specialists from areas as diverse as materials science, device production and advanced ion implanters.The contents open with a paper on the future developments of the microelectronics industry in Europe within the framework of the global competition. The subsequent invited and oral presentations cover in detail the following areas: trends in processing and devices, ion-solid interaction, materials science issues, advanced implanter systms, process control and yield, future trends and applications.
| Erscheint lt. Verlag | 16.5.1995 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Optik |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| ISBN-10 | 0-444-59972-X / 044459972X |
| ISBN-13 | 978-0-444-59972-8 / 9780444599728 |
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