The Physics of Micro/Nano-Fabrication
Seiten
1993
Kluwer Academic/Plenum Publishers (Verlag)
978-0-306-44146-2 (ISBN)
Kluwer Academic/Plenum Publishers (Verlag)
978-0-306-44146-2 (ISBN)
In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.
1. Preliminary Survey.- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3. Plasmas: Physics and Chemistry.- 4. Layering Technologies.- 5. Pattern Generation.- 6. Microcharacterization.- 7. Limits to Nanofabrication.- Appendixes.- Author Index.
| Erscheint lt. Verlag | 31.1.1993 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Microdevices |
| Zusatzinfo | XX, 622 p. |
| Verlagsort | New York |
| Sprache | englisch |
| Maße | 178 x 254 mm |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie ► Analytische Chemie |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Atom- / Kern- / Molekularphysik | |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik | |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| ISBN-10 | 0-306-44146-2 / 0306441462 |
| ISBN-13 | 978-0-306-44146-2 / 9780306441462 |
| Zustand | Neuware |
| Haben Sie eine Frage zum Produkt? |
Mehr entdecken
aus dem Bereich
aus dem Bereich
