The Physics of Micro/Nano-Fabrication
Seiten
2010
Springer-Verlag New York Inc.
978-1-4419-3221-1 (ISBN)
Springer-Verlag New York Inc.
978-1-4419-3221-1 (ISBN)
In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.
1. Preliminary Survey.- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3. Plasmas: Physics and Chemistry.- 4. Layering Technologies.- 5. Pattern Generation.- 6. Microcharacterization.- 7. Limits to Nanofabrication.- Appendixes.- Author Index.
| Erscheint lt. Verlag | 6.12.2010 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Microdevices |
| Zusatzinfo | XX, 622 p. |
| Verlagsort | New York, NY |
| Sprache | englisch |
| Maße | 170 x 244 mm |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie ► Analytische Chemie |
| Naturwissenschaften ► Geowissenschaften ► Mineralogie / Paläontologie | |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Atom- / Kern- / Molekularphysik | |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik | |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Thermodynamik | |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-10 | 1-4419-3221-6 / 1441932216 |
| ISBN-13 | 978-1-4419-3221-1 / 9781441932211 |
| Zustand | Neuware |
| Haben Sie eine Frage zum Produkt? |
Mehr entdecken
aus dem Bereich
aus dem Bereich
