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Resonant Network Antennas for Radio-Frequency Plasma Sources (eBook)

Theory, technology and applications
eBook Download: EPUB
2024
300 Seiten
Institute of Physics Publishing (Verlag)
978-0-7503-5296-3 (ISBN)
Systemvoraussetzungen
124,99 inkl. MwSt
(CHF 119,95)
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Erscheint lt. Verlag 28.2.2024
Reihe/Serie IOP ebooks
IOP Series in Plasma Physics
Zusatzinfo With figures in colour and black and white
Sprache englisch
Themenwelt Naturwissenschaften Physik / Astronomie Atom- / Kern- / Molekularphysik
Naturwissenschaften Physik / Astronomie Plasmaphysik
Schlagworte helicon source • helicon waves • inductively-coupled plasma • industrial plasma applications • large-area plasma • loop and partial inductance • plasma diagnostics • Plasma physics • radio-frequency plasma sources • resonant network antennas
ISBN-10 0-7503-5296-5 / 0750352965
ISBN-13 978-0-7503-5296-3 / 9780750352963
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