Resonant Network Antennas for Radio-Frequency Plasma Sources (eBook)
300 Seiten
Institute of Physics Publishing (Verlag)
978-0-7503-5296-3 (ISBN)
| Erscheint lt. Verlag | 28.2.2024 |
|---|---|
| Reihe/Serie | IOP ebooks | IOP Series in Plasma Physics |
| Zusatzinfo | With figures in colour and black and white |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Atom- / Kern- / Molekularphysik |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Plasmaphysik | |
| Schlagworte | helicon source • helicon waves • inductively-coupled plasma • industrial plasma applications • large-area plasma • loop and partial inductance • plasma diagnostics • Plasma physics • radio-frequency plasma sources • resonant network antennas |
| ISBN-10 | 0-7503-5296-5 / 0750352965 |
| ISBN-13 | 978-0-7503-5296-3 / 9780750352963 |
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