Plasma Sources for Thin Film Deposition and Etching (eBook)
328 Seiten
Elsevier Science (Verlag)
978-0-08-092513-4 (ISBN)
This latest volume of the well-known Physics of Thin Films Series includes four chapters that discuss high-density plasma sources for materials processing, electron cyclotron resonance and its uses, unbalancedmagnetron sputtering, and particle formation in thin film processing plasma. - Chapter One develops a unified framework from which all "e;high-efficiency"e; sources may be viewed and compared; outlines key elements of source design affecting processing results; and highlights areas where additional research and development are needed- Chapter Two reviews and analyzes the main types of electron cyclotron resonance (ECR) plasma sources suitable for ECR PACVD of thin films, mainly ECR sources using magnet coils- Chapter Three examines the benefits and limitations of the new technique, unbalanced magnetron sputtering (UBM), along with the motivation for its development, the basic principles of its operation and commercial applications, and some speculations regarding the future of UBM technology- Chapter Four describes general phenomena observed in connection with particle formation in thin film processing plasmas; discusses particles in PECVD plasmas, sputtering plasmas, and RIE plasmas; presents an overview of the theoretical modeling of various aspects of particles in processing plasmas; examines issues of equipment design affecting particle formation; and concludes with remarks about the implications of this work for the control of process-induced particle contamination
Erscheint lt. Verlag | 22.10.2013 |
---|---|
Mitarbeit |
Herausgeber (Serie): John L. Vossen |
Sprache | englisch |
Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik |
Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Hochenergiephysik / Teilchenphysik | |
Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Plasmaphysik | |
Technik ► Maschinenbau | |
ISBN-10 | 0-08-092513-8 / 0080925138 |
ISBN-13 | 978-0-08-092513-4 / 9780080925134 |
Haben Sie eine Frage zum Produkt? |
Größe: 34,4 MB
Kopierschutz: Adobe-DRM
Adobe-DRM ist ein Kopierschutz, der das eBook vor Mißbrauch schützen soll. Dabei wird das eBook bereits beim Download auf Ihre persönliche Adobe-ID autorisiert. Lesen können Sie das eBook dann nur auf den Geräten, welche ebenfalls auf Ihre Adobe-ID registriert sind.
Details zum Adobe-DRM
Dateiformat: PDF (Portable Document Format)
Mit einem festen Seitenlayout eignet sich die PDF besonders für Fachbücher mit Spalten, Tabellen und Abbildungen. Eine PDF kann auf fast allen Geräten angezeigt werden, ist aber für kleine Displays (Smartphone, eReader) nur eingeschränkt geeignet.
Systemvoraussetzungen:
PC/Mac: Mit einem PC oder Mac können Sie dieses eBook lesen. Sie benötigen eine
eReader: Dieses eBook kann mit (fast) allen eBook-Readern gelesen werden. Mit dem amazon-Kindle ist es aber nicht kompatibel.
Smartphone/Tablet: Egal ob Apple oder Android, dieses eBook können Sie lesen. Sie benötigen eine
Geräteliste und zusätzliche Hinweise
Buying eBooks from abroad
For tax law reasons we can sell eBooks just within Germany and Switzerland. Regrettably we cannot fulfill eBook-orders from other countries.
aus dem Bereich