Entwicklung und Charakterisierung von siliziumbasierten mikrosystemtechnischen Komponenten für ein miniaturisiertes Gasanalysesystem
Seiten
2007
Logos Berlin (Verlag)
978-3-8325-1611-6 (ISBN)
Logos Berlin (Verlag)
978-3-8325-1611-6 (ISBN)
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Sprache | deutsch |
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Maße | 145 x 210 mm |
Einbandart | Paperback |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
Schlagworte | Chromatographie • Gasanalyse • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Mikroreaktor • Mikrosystemtechnik • Siliziumtechnologie |
ISBN-10 | 3-8325-1611-5 / 3832516115 |
ISBN-13 | 978-3-8325-1611-6 / 9783832516116 |
Zustand | Neuware |
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