Very Large Scale Integration Metalization Technologies
Seiten
1991
Artech House Publishers (Verlag)
978-0-89006-501-3 (ISBN)
Artech House Publishers (Verlag)
978-0-89006-501-3 (ISBN)
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This collection of articles presents developments in VSLI contact and connected technologies and applications. Subjects covered include opto-electronic interconnects and testing, multichip packaging and metallization reliability and multilevel metallization technologies.
Device and circuit interconnects - a perspective; physics and modelling of metal-semiconductor heterojunctions; metal/silicide-silicon contacts; multilevel metallization technologies; metallization of compound semiconductors; optoelectronic interconnects and testing; multichip packaging and metallization and reliability.
Erscheint lt. Verlag | 12.12.1991 |
---|---|
Reihe/Serie | Electronic Materials & Devices Library |
Zusatzinfo | bibliography |
Verlagsort | Norwood |
Sprache | englisch |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
Technik ► Maschinenbau | |
ISBN-10 | 0-89006-501-2 / 0890065012 |
ISBN-13 | 978-0-89006-501-3 / 9780890065013 |
Zustand | Neuware |
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