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Effekte bei der Nanostrukturierung mittels fokussierter Ionenstrahlen

Buch | Softcover
144 Seiten
2005 | 1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-4164-3 (ISBN)

Lese- und Medienproben

Effekte bei der Nanostrukturierung mittels fokussierter Ionenstrahlen - Christoph Lehrer
CHF 64,10 inkl. MwSt
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  • 2005/3
Reihe/Serie Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2005/3
Sprache deutsch
Maße 148 x 210 mm
Gewicht 216 g
Einbandart Paperback
Themenwelt Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Materialabtrag • Simulation • Sputtererosion
ISBN-10 3-8322-4164-7 / 3832241647
ISBN-13 978-3-8322-4164-3 / 9783832241643
Zustand Neuware
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