Blick ins Buch

MEMS in der Mikrosystemtechnik

Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme

Markus Glück (Autor)

Buch | Softcover

212 Seiten

2005
Springer Fachmedien Wiesbaden (Verlag)
978-3-519-00520-9 (ISBN)

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Blick ins Buch (midvox)

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Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für EMS. Ziel ist es, Studierenden der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen.

Dr.-Ing. Markus Glück ist Geschäftsführer und Leiter des Technologiezentrum Westbayern und seit 2003 Lehrbeauftragter an der FH Augsburg.

Zusatzinfo	94 schw.-w. Abb., 7 schw.-w. Tab.
Sprache	deutsch
Maße	170 x 240 mm
Gewicht	385 g
Einbandart	Paperback
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Hardcover, Softcover / Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Mechatronik • MEMS • MEMS (Mikroelektromechanische Systeme) • Mikroelektromechanik • Mikrosystemtechnik • Sensoren • Sensorsysteme
ISBN-10	3-519-00520-4 / 3519005204
ISBN-13	978-3-519-00520-9 / 9783519005209
Zustand	Neuware