Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD
Seiten
2005
|
1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-3778-3 (ISBN)
Shaker (Verlag)
978-3-8322-3778-3 (ISBN)
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- 2005/2
Reihe/Serie | Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2005/2 |
---|---|
Sprache | deutsch |
Maße | 148 x 210 mm |
Gewicht | 212 g |
Einbandart | Paperback |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
Schlagworte | dünne Schichten • Elektronische Bauelemente • Halbleitertechnologie • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Hoch-epsilon Schichten • Mikroelektronik |
ISBN-10 | 3-8322-3778-X / 383223778X |
ISBN-13 | 978-3-8322-3778-3 / 9783832237783 |
Zustand | Neuware |
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