Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung
Seiten
2005
|
1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-3627-4 (ISBN)
Shaker (Verlag)
978-3-8322-3627-4 (ISBN)
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- 14
Reihe/Serie | Selected Topics of Electronics and Micromechatronics /Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik ; 14 |
---|---|
Sprache | deutsch |
Maße | 148 x 210 mm |
Gewicht | 366 g |
Einbandart | Paperback |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
Schlagworte | Delta-Sigma-Modulation • Drehratensensor • Elektrophysik • Elektrotechnik • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Mikromechanik |
ISBN-10 | 3-8322-3627-9 / 3832236279 |
ISBN-13 | 978-3-8322-3627-4 / 9783832236274 |
Zustand | Neuware |
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