Silizium-Halbleitertechnologie

Ulrich Hilleringmann (Autor)

Buch | Softcover

IX, 326 Seiten

2004 | 4., durchges. und erg.
Springer Fachmedien Wiesbaden (Verlag)
978-3-519-30149-3 (ISBN)

Infos

Herstellung von Siliziumscheiben - Oxidation des dotierten Siliziums - Lithografie - Ätztechnik - Dotiertechniken - Depositionsverfahren - Metallisierung und Kontakte - Scheibenreinigung - MOS-Technologien zur Schaltungsintegration - Erweiterungen zur Höchstintegration - Bipolar-Technologie - Montage integrierter Schaltungen

Autor

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Produkt-Details

• Reihe/Serie: Teubner Studienbücher Technik
• Zusatzinfo: 165 schw.-w. Abb., 19 schw.-w. Tab.
• Sprache: deutsch
• Maße: 148 x 210 mm
• Einbandart: Paperback
• Themenwelt: Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
• Schlagworte: Chip • Chipherstellung • Halbleiter • Halbleitertechnologie • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Integration • Silicium • Silizium
• ISBN-10: 3-519-30149-0 / 3519301490
• ISBN-13: 978-3-519-30149-3 / 9783519301493
• Zustand: Neuware