Mikroelektronik 2
Herstellprozesse für integrierte Schaltungen
Seiten
1998
Vogel Business Media (Verlag)
978-3-8023-1588-6 (ISBN)
Vogel Business Media (Verlag)
978-3-8023-1588-6 (ISBN)
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Die Verfahren und Techniken der Siliziumtechnologie für mikroelektronische Anwendungen werden vorgestellt. Ausgehend von einkristallinen Siliziumwafern bis zur Verkapselung in Plastikgehäusen werden die einzelnen Prozeßschritte zur Herstellung von CMOS- und Bipolar-ICs behandelt. Der Band deckt in praxisgerechter Tiefe ab, was Studenten an Fachhochschulen und Universitäten sowie Materialwissenschaftler und Techniker in der industriellen Praxis über Möglichkeiten und Limitierungen der IC-Technologie wissen sollten.
| Reihe/Serie | Kamprath-Reihe |
|---|---|
| Zusatzinfo | 239 Abb., zahlr. Tab. |
| Sprache | deutsch |
| Maße | 160 x 225 mm |
| Gewicht | 594 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | Integrierte Schaltung • Integrierte Schaltung (IC) • Mikroelektronik; Handbuch/Lehrbuch |
| ISBN-10 | 3-8023-1588-X / 380231588X |
| ISBN-13 | 978-3-8023-1588-6 / 9783802315886 |
| Zustand | Neuware |
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