Chemistry of Atomic Layer Deposition (eBook)
113 Seiten
Walter de Gruyter GmbH & Co.KG (Verlag)
978-3-11-071253-7 (ISBN)
This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.
Seán Thomas Barry, Carleton University, Ottawa, Canada.
| Erscheint lt. Verlag | 8.11.2021 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| ISBN-10 | 3-11-071253-9 / 3110712539 |
| ISBN-13 | 978-3-11-071253-7 / 9783110712537 |
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