Untersuchung der Energiedissipationsprozesse mikromechanischer Systeme

Markus Freitag (Autor)

Buch | Softcover

271 Seiten

2020
Universitätsverlag Chemnitz
978-3-96100-113-2 (ISBN)

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Im Fokus dieser Arbeit stehen Dämpfungseffekte schwingfähiger Mikroelektromechanischer Systeme (MEMS), die nach dem kapazitiven Wirkprinzip arbeiten. Die verschiedenen Dissipationsprozesse und die zugehörigen analytischen Modelle sowie numerischen Berechnungsmöglichkeiten auf physikalischer Ebene werden vorgestellt und mit eigenen experimentellen Ergebnissen verglichen. Der Schwerpunkt liegt dabei auf der fluidischen Dämpfung im Kontinuum und bei leichter Verdünnung, was bei den meisten kapazitiven MEMS den dominierenden Verlusteffekt darstellt.

Erscheinungsdatum	03.12.2020
Zusatzinfo	Illustrationen, Diagramme
Verlagsort	Chemnitz
Sprache	deutsch
Maße	148 x 210 mm
Gewicht	397 g
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	CFD • Dämpfung • Dissipation • Einspannverluste • MEMS • Slide-Film-Dämpfung • Squeeze-Film-Dämpfung • thermoelastische Dämpfung • thermoelastischeDämpfung
ISBN-10	3-96100-113-8 / 3961001138
ISBN-13	978-3-96100-113-2 / 9783961001132
Zustand	Neuware