Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons

Johannes Manz (Autor)

Buch | Softcover

121 Seiten

2020
Shaker (Verlag)
978-3-8440-7557-1 (ISBN)

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In dieser Arbeit wurde ein alternatives Konzept eines MEMS-Mikrofons entworfen, um das Signal-Rausch-Verhältnis zu verbessern. Im neuen Bauelementkonzept wird das Schallsignal durch die Kapazitätsänderung in einer mikromechanischen Kammstruktur detektiert. Zur Unterstützung des Entwurfsprozesses wurde ein physikalisch basiertes modulares Simulationsmodell abgeleitet, das die gesamte Mikrofonfunktion prädiktiv abbildet. Die erfolgreiche Umsetzung des Konzepts zeigt sich in den realisierten Prototypen, die zusammen mit umfassenden theoretischen Untersuchungen das Potential des neuartigen Mikrofonkonzepts unterstreichen.

Erscheinungsdatum	04.09.2020
Reihe/Serie	Selected Topics of Electronics and Micromechatronics /Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik ; 51
Verlagsort	Düren
Sprache	deutsch
Maße	1478 x 210 mm
Gewicht	182 g
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Kammstruktur • MEMS • Mikrofon • Rauschen
ISBN-10	3-8440-7557-7 / 3844075577
ISBN-13	978-3-8440-7557-1 / 9783844075571
Zustand	Neuware