Laser Processing of Thin Films and Microstructures
Oxidation, Deposition, and Etching of Insulators
1987
Springer Berlin (Hersteller)
978-3-540-17951-1 (ISBN)
Springer Berlin (Hersteller)
978-3-540-17951-1 (ISBN)
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| Reihe/Serie | Springer Series in Materials Science ; 3 |
|---|---|
| Zusatzinfo | 77 figs. VIII,320 pages. |
| Verlagsort | Berlin |
| Sprache | englisch |
| Gewicht | 640 g |
| Einbandart | gebunden |
| Themenwelt | Technik |
| ISBN-10 | 3-540-17951-8 / 3540179518 |
| ISBN-13 | 978-3-540-17951-1 / 9783540179511 |
| Zustand | Neuware |
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