Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication
Seiten
1997
Institution of Engineering and Technology (Verlag)
978-0-85296-910-6 (ISBN)
Institution of Engineering and Technology (Verlag)
978-0-85296-910-6 (ISBN)
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| Reihe/Serie | IEE Materials & Devices S. ; v.12A |
|---|---|
| Zusatzinfo | index |
| Verlagsort | Stevenage |
| Sprache | englisch |
| Maße | 156 x 254 mm |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-10 | 0-85296-910-4 / 0852969104 |
| ISBN-13 | 978-0-85296-910-6 / 9780852969106 |
| Zustand | Neuware |
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