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Microlithography

High Integration in Microelectronics - Proceedings

Aldo Craievich, etc. (Herausgeber)

Buch | Hardcover
230 Seiten
1990
World Scientific Publishing Co Pte Ltd (Verlag)
978-981-02-0137-1 (ISBN)
CHF 179,95 inkl. MwSt
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Verlagsort Singapore
Sprache englisch
Themenwelt Naturwissenschaften Chemie
Naturwissenschaften Physik / Astronomie Hochenergiephysik / Teilchenphysik
Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Technik Maschinenbau
ISBN-10 981-02-0137-0 / 9810201370
ISBN-13 978-981-02-0137-1 / 9789810201371
Zustand Neuware
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