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Plasma Electronics -  Toshiaki Makabe,  Zoran Lj. Petrovic

Plasma Electronics (eBook)

Applications in Microelectronic Device Fabrication
eBook Download: PDF
2014
412 Seiten
CRC Press (Verlag)
978-1-4822-2210-4 (ISBN)
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Beyond enabling new capabilities, plasma-based techniques, characterized by quantum radicals of feed gases, hold the potential to enhance and improve many processes and applications. Following in the tradition of its popular predecessor, Plasma Electronics, Second Edition: Applications in Microelectronic Device Fabrication explains the fundamental
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