Blick ins Buch

Strukturierungs- und Aufbautechnologien von 3-dimensional integrierten fluidischen Mikrosystemen

Mario Baum (Autor)

Buch | Softcover

192 Seiten

2015
Universitätsverlag Chemnitz
978-3-944640-48-8 (ISBN)

Lese- und Medienproben

Inhaltsverzeichnis (PDF)

Titel leider nicht mehr lieferbar

Artikel merken

Die vorliegende Arbeit beschreibt die Übertragung der aus der Siliziumtechnologie bekannten Präzision der Strukturierung und die Zuverlässigkeit der Verbindungstechnologie auf andere Materialien wie Kupfer und PMMA. Diese Untersuchung ist auf die Entwicklung der Teiltechnologien Strukturierung und Integration fokussiert und konzentriert sich insbesondere auf die Kombination von Mikrostrukturierung und dreidimensionalen Aufbautechniken einschließlich vertikaler fluidischer Durchkontaktierungen bei den Materialien Silizium, Kupfer und Kunststoff (PMMA). Eine begleitende Charakterisierung und messtechnische Bewertung gestattet die Weiterentwicklung während der Experimentedurchführung und erweitert den Stand der Wissenschaft hinsichtlich der genannten Kombinationen.

Erscheinungsdatum	02.12.2017
Verlagsort	Chemnitz
Sprache	deutsch
Maße	148 x 210 mm
Einbandart	kartoniert
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Ätzen • Dichtheit • Festigkeit • Fügen • Kupfer • Mikrofluidik • Polymethylmethacrylate • Silicium • Systemintegration
ISBN-10	3-944640-48-9 / 3944640489
ISBN-13	978-3-944640-48-8 / 9783944640488
Zustand	Neuware