Untersuchungen zur Feuchtigkeitsaufnahme von Niedrig-Epsilon-Materialien für die Anwendung als Zwischenebenendielektrika in Mikrochips

Christoph Kubasch (Autor)

Buch | Softcover

149 Seiten

2013
Pro Business digital (Verlag)
978-3-86386-968-7 (ISBN)

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Im Rahmen dieser Arbeit wurden industrierelevante siliziumbasierte Niedrig-Epsilon-Materialien für den Einsatz als Zwischenebenenisolatoren in modernen Mikrochips in Hinblick auf die Feuchtigkeitsaufnahme aus der Umgebung untersucht. Unter Verwendung von MIM-Strukturen und mithilfe von C-t-Messungen wurden der Anstieg in der Permittivitätszahl aufgrund der Wasseraufnahme und das transiente Verhalten der Materialien bis zum Erreichen des Sättigungszustandes analysiert. Durch die Anwendung der Debye-Gleichung konnte anhand dieser Daten der absolute Wassergehalt in den Dielektrika bestimmt sowie ein Diffusionsmodell zur Wasseraufnahme erstellt werden. Zur Bestätigung der Debye-Gleichung wurden QCM-Messungen durchgeführt. Mittels FTIR-Spektroskopie wurde die chemische Zusammensetzung der Dielektrika und der Einfluss von Wasser auf die Bindungen und die Struktur in den Materialien untersucht. Die Dissoziation von Wasser bei hohen elektrischen Feldern konnte anhand von Leckstrom- und Durchbruchmessungen sowie mithilfe von C-V-Messungen gezeigt werden.
Die gewonnenen Erkenntnisse vertiefen das Verständnis zur Wasseraufnahme von Niedrig-Epsilon-Materialien und bieten Ansatzpunkte zur Weiterentwicklung dieser Materialien in Hinblick auf eine geringe Feuchtigkeitsaufnahme aus der Umgebung.

Erscheint lt. Verlag	29.11.2013
Sprache	deutsch
Maße	148 x 210 mm
Gewicht	250 g
Einbandart	Paperback
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Forschung • Mikrochip • Natur • Technik
ISBN-10	3-86386-968-0 / 3863869680
ISBN-13	978-3-86386-968-7 / 9783863869687
Zustand	Neuware