Entwicklung einer automatischen Testumgebung für Ferninfrarot-Bauelemente.
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Die Arbeit beschäftigt sich mit der Konzeption, mathematischen Modellierung, Umsetzung sowie Charakterisierung und Optimierung eines umfassenden Testkonzepts für CMOS-basierte MEMS am Beispiel eines am Fraunhofer IMS entwickelten und gefertigten Fern-Infrarot Imagers auf Basis von Bolometern als Sensorelemente.
| Erscheint lt. Verlag | 25.7.2012 |
|---|---|
| Zusatzinfo | zahlr. Abb. u. Tab. |
| Verlagsort | Stuttgart |
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 246 g |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | Angewandte Forschung • applied research • B • Fraunhofer IMS • Infrarot • IRFPA • Mikroelektronik • Modellierung • Prüfen • Test • Testsystem • Testsysteme • Wafertest |
| ISBN-10 | 3-8396-0419-2 / 3839604192 |
| ISBN-13 | 978-3-8396-0419-9 / 9783839604199 |
| Zustand | Neuware |
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