Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography II

28 February-3 March 2011, San Jose, California, United States

Bruno La Fontaine (Autor)

Buch | Softcover

1040 Seiten

2011
SPIE Press (Verlag)
978-0-8194-8528-1 (ISBN)

Produkt-Details

• Erscheint lt. Verlag: 15.6.2011
• Zusatzinfo: illustrations
• Verlagsort: Bellingham
• Sprache: englisch
• Maße: 152 x 229 mm
• Themenwelt: Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
• ISBN-10: 0-8194-8528-4 / 0819485284
• ISBN-13: 978-0-8194-8528-1 / 9780819485281
• Zustand: Neuware