1997 2nd International Symposium on Plasma Process-Induced Damage
13-14 May 1997, Monterey, California, USA
Seiten
1997
Northern California Chapter of the American Vacuum Society (Verlag)
978-0-7803-3822-7 (ISBN)
Northern California Chapter of the American Vacuum Society (Verlag)
978-0-7803-3822-7 (ISBN)
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| Erscheint lt. Verlag | 1.1.1997 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-7803-3822-7 / 0780338227 |
| ISBN-13 | 978-0-7803-3822-7 / 9780780338227 |
| Zustand | Neuware |
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