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Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis -  Patrick Echlin,  Joseph Goldstein,  David C. Joy,  Eric Lifshin,  Charles E. Lyman,  J.R. Michael,  Dale E. Newbury,  Linda Sawyer

Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis (eBook)

Third Edition
eBook Download: PDF
2012
Springer US (Verlag)
978-1-4615-0215-9 (ISBN)
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In the decade since the publication of the second edition of Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, there has been a great expansion in the capabilities of the basic scanning electron microscope (SEM) and the x-ray spectrometers. The emergence of the variab- pressure/environmental SEM has enabled the observation of samples c- taining water or other liquids or vapor and has allowed for an entirely new class of dynamic experiments, that of direct observation of che- cal reactions in situ. Critical advances in electron detector technology and computer-aided analysis have enabled structural (crystallographic) analysis of specimens at the micrometer scale through electron backscatter diffr- tion (EBSD). Low-voltage operation below 5 kV has improved x-ray spatial resolution by more than an order of magnitude and provided an effective route to minimizing sample charging. High-resolution imaging has cont- ued to develop with a more thorough understanding of how secondary el- trons are generated. The ?eld emission gun SEM, with its high brightness, advanced electron optics, which minimizes lens aberrations to yield an - fective nanometer-scale beam, and "e;through-the-lens"e; detector to enhance the measurement of primary-beam-excited secondary electrons, has made high-resolution imaging the rule rather than the exception. Methods of x-ray analysis have evolved allowing for better measurement of specimens with complex morphology: multiple thin layers of different compositions, and rough specimens and particles. Digital mapping has transformed classic x-ray area scanning, a purely qualitative technique, into fully quantitative compositional mapping.
Erscheint lt. Verlag 6.12.2012
Sprache englisch
Themenwelt Naturwissenschaften Physik / Astronomie Angewandte Physik
Sozialwissenschaften
Technik Maschinenbau
ISBN-10 1-4615-0215-2 / 1461502152
ISBN-13 978-1-4615-0215-9 / 9781461502159
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