Physical Chemistry of, in and on Silicon
Seiten
1989
Springer Berlin (Hersteller)
978-3-540-19049-3 (ISBN)
Springer Berlin (Hersteller)
978-3-540-19049-3 (ISBN)
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This book reviews the physical and chemical properties of silicon and furnishes an up-to-date collection of data. New phases of silicon are described, a new approach is presented to the group III acceptor structure, and detailed information is included on gettering techniques. Silicon processing for device manufacture is briefly discussed.
Contents: Silicon.- Silicon Phases.- Equilibrium Defects.- Impurities.- Dopants.- Defect-Impurity Interactions.- The High Density Limit.- Surfaces and Interfaces.- Gettering.- Device Processing.- References.- Acronyms and Abbreviations.- Subject Index.
| Reihe/Serie | Springer Series in Materials Science ; 8 |
|---|---|
| Zusatzinfo | 26 figs. |
| Verlagsort | Berlin |
| Sprache | englisch |
| Gewicht | 405 g |
| Einbandart | gebunden |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie ► Physikalische Chemie |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik | |
| ISBN-10 | 3-540-19049-X / 354019049X |
| ISBN-13 | 978-3-540-19049-3 / 9783540190493 |
| Zustand | Neuware |
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