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Handbook of Thin Film Process Technology

98/1 Reactive Sputtering

(Autor)

Buch | Hardcover
90 Seiten
2017
CRC Press (Verlag)
978-1-315-89368-6 (ISBN)
CHF 249,95 inkl. MwSt
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The Handbook of Thin Film Process Technology is a practical handbook for the thin film scientist, engineer and technician. This handbook is regularly updated with new material, and this volume is a special issue on reactive sputtering which will be of interest to a wide range of industrial and academic researchers in addition to owners of the main Handbook. Some recent developments in the reactive sputtering field are covered, including unbalanced magnetron sputtering and pulsed reactive sputtering. The articles contain a wealth of practical information relating to applications, practice and manufacturing techniques.

David A Glocker

1. Physical Depositon Techniques 2. Chemical Depositon Techniques 3. Processing Technologies 4. Real-Time Diagnostics 5. Surface Modification in Vacuum 6. Superlattices and Multi-Layered Structures 7. Materials

Erscheinungsdatum
Verlagsort London
Sprache englisch
Maße 210 x 297 mm
Gewicht 330 g
Themenwelt Naturwissenschaften Biologie
Naturwissenschaften Physik / Astronomie Allgemeines / Lexika
Naturwissenschaften Physik / Astronomie Festkörperphysik
ISBN-10 1-315-89368-1 / 1315893681
ISBN-13 978-1-315-89368-6 / 9781315893686
Zustand Neuware
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