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Nanotechnology and Nanoelectronics (eBook)

Materials, Devices, Measurement Techniques

Wolfgang Fahrner (Herausgeber)

eBook Download: PDF
2005 | 2005
XVI, 269 Seiten
Springer Berlin (Verlag)
978-3-540-26621-1 (ISBN)

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Nanotechnology and Nanoelectronics -
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Split a human hair thirty thousand times, and you have the equivalent of a nanometer. The aim of this work is to provide an introduction into nanotechnology for the s- entifically interested. However, such an enterprise requires a balance between comprehensibility and scientific accuracy. In case of doubt, preference is given to the latter. Much more than in microtechnology - whose fundamentals we assume to be known - a certain range of engineering and natural sciences are interwoven in nanotechnology. For instance, newly developed tools from mechanical engine- ing are essential in the production of nanoelectronic structures. Vice versa, - chanical shifts in the nanometer range demand piezoelectric-operated actuators. Therefore, special attention is given to a comprehensive presentation of the matter. In our time, it is no longer sufficient to simply explain how an electronic device operates; the materials and procedures used for its production and the measuring instruments used for its characterization are equally important. The main chapters as well as several important sections in this book end in an evaluation of future prospects. Unfortunately, this way of separating coherent - scription from reflection and speculation could not be strictly maintained. So- times, the complete description of a device calls for discussion of its inherent - tential; the hasty reader in search of the general perspective is therefore advised to study this work's technical chapters as well.

Preface 5
Contents 6
Contributors 10
Abbreviations 11
1 Historical Development 15
1.1 Miniaturization of Electrical and Electronic Devices 15
1.2 Moore’s Law and the SIA Roadmap 16
2 Quantum Mechanical Aspects 18
2.1 General Considerations 18
2.2 Simulation of the Properties of Molecular Clusters 18
2.3 Formation of the Energy Gap 20
2.4 Preliminary Considerations for Lithography 21
2.5 Confinement Effects 25
2.6 Evaluation and Future Prospects 27
3 Nanodefects 29
3.1 Generation and Forms of Nanodefects in Crystals 29
3.2 Characterization of Nanodefects in Crystals 30
3.3 Applications of Nanodefects in Crystals 40
3.4 Nuclear Track Nanodefects 47
3.5 Evaluation and Future Prospects 49
4 Nanolayers 51
4.1 Production of Nanolayers 51
4.2 Characterization of Nanolayers 75
4.3 Applications of Nanolayers 115
4.4 Evaluation and Future Prospects 115
5 Nanoparticles 118
5.1 Fabrication of Nanoparticles 118
5.2 Characterization of Nanoparticles 125
5.3 Applications of Nanoparticles 128
5.4 Evaluation and Future Prospects 129
6 Selected Solid States with Nanocrystalline Structures 131
6.1 Nanocrystalline Silicon 131
6.2 Zeolites and Nanoclusters in Zeolite Host Lattices 137
7 Nanostructuring 152
7.1 Nanopolishing of Diamond 152
7.2 Etching of Nanostructures 159
7.3 Lithography Procedures 163
7.4 Focused Ion Beams 181
7.5 Nanoimprinting 197
7.6 Atomic Force Microscopy 204
7.7 Near-Field Optics 205
8 Extension of Conventional Devices by Nanotechniques 209
8.1 MOS Transistors 209
8.2 Bipolar Transistors 219
9 Innovative Electronic Devices Based on Nanostructures 221
9.1 General Properties 221
9.2 Resonant Tunneling Diode 221
9.3 Quantum Cascade Laser 227
9.4 Single Electron Transistor 233
9.5 Carbon Nanotube Devices 240
References 246
1 Historic Development 246
2 Quantum Mechanical Aspects 246
3 Nanodefects 247
4 Nanolayers 249
5 Nanoparticles 251
6 Selected Solid States with Nanocrystalline Structures 252
7 Nanostructuring 257
8 Extension of Conventional Devices by Nanotechniques 261
9 Innovative Electronic Devices Based on Nanostructures 262
Index 268

Erscheint lt. Verlag 5.12.2005
Zusatzinfo XVI, 270 p. 218 illus.
Verlagsort Berlin
Sprache englisch
Themenwelt Naturwissenschaften Chemie
Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Technik Maschinenbau
Schlagworte Anode • components • defects • Development • Electronics • fundamentals • Material • Measurement Techniques • nanostructure • nanotechnology • Production
ISBN-10 3-540-26621-6 / 3540266216
ISBN-13 978-3-540-26621-1 / 9783540266211
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