Technologie der III/V-Halbleiter

III/V-Heterostrukturen und elektronische Höchstfrequenz-Bauelemente

Werner Prost (Autor)

Buch | Softcover

IX, 206 Seiten

1997
Springer Berlin (Verlag)
978-3-540-62804-0 (ISBN)

Artikel merken

Für zahlreiche neue Anwendungen vor allem in der Kommunikationstechnik sind die III-V-Verbindungshalbleiter die technologische Basis. Entsprechend wertvoll wird das Wissen über die Herstellungstechniken von Bauelementen für integrierte Mikrowellenschaltungen, denen dieses Werk gewidmet ist. Es wendet sich als Lehr- und Fachbuch an Studenten und Entwicklungsingenieure, denen der Einstieg in dieses Gebiet durch den methodischen Ansatz und den Verweis auf die aktuelle internationale Fachliteratur erleichtert wird. Besonders hervorzuheben ist die ausführliche Behandlung von Halbleiter-Heterostukturen.

1: Herstellung von III/V- Halbleiter-Heterostrukturen.- 0 Einleitung.- 1 Halbleiter-Materialsysteme.- 2 Halbleiterkristallzucht (GaAs).- 3 Herstellung aktiver Bauelementschichten.- 4 Material-Charakterisierung von Halbleiter-Heterostrukturen.- 2: Technologie elektronischer Höchstfrequenz-Bauelemente.- 5 Abscheidung und Charakterisierung dielektrischer Schichten.- 6 Bauelementtechnologie.- 7 Umweltschutz und Arbeitssicherheit.- Übungsaufgaben.- Liste der verwendeten Formelzeichen.- Druck-Umrechnungstabelle.- Naturkonstanten.- Stichwortverzeichnis.

Erscheint lt. Verlag	14.8.1997
Zusatzinfo	IX, 206 S. 70 Abb.
Verlagsort	Berlin
Sprache	deutsch
Maße	155 x 235 mm
Gewicht	350 g
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Atom- / Kern- / Molekularphysik
	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
	Technik ► Maschinenbau
Schlagworte	Bauelemente • Halbleiter • Halbleitertechnologie • Kommunikation • Schaltung • Werkstoff
ISBN-10	3-540-62804-5 / 3540628045
ISBN-13	978-3-540-62804-0 / 9783540628040
Zustand	Neuware