Lpcvd Silicon Nitride and Oxynitride Films

Material and Applications in Integrated Circuit Technology

Buch | Softcover

159 Seiten

1991
Springer (Verlag)
978-0-387-53954-6 (ISBN)

Produkt-Details

• Erscheint lt. Verlag: 1.7.1991
• Reihe/Serie: Lecture Notes in Computer Science ; 1
• Mitarbeit: Sonstige Mitarbeit: F H P M Habraken
• Zusatzinfo: Illustrations, unspecified
• Sprache: englisch
• Themenwelt: Naturwissenschaften ► Chemie ► Anorganische Chemie
• Themenwelt: Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
• ISBN-10: 0-387-53954-9 / 0387539549
• ISBN-13: 978-0-387-53954-6 / 9780387539546
• Zustand: Neuware