Ätzverfahren für die Mikrotechnik

M Köhler (Autor)

Software / Digital Media

414 Seiten

2005
Wiley-VCH Verlag GmbH (Hersteller)
978-3-527-60291-9 (ISBN)

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Klein aber fein! Mikrobauelemente in Form elektronischer Chips sind inzwischen jedermann ein Begriff. Aber die kleinen Zauberer k?nnen mehr. Komplette miniaturisierte Systeme werden in immer st?rkerem Ma?e eingesetzt, technische Anwendungen erfolgen in den unterschiedlichsten Bereichen wie Kommunikationstechnik, Produktionstechnik, Medizintechnik und Umwelttechnik. Lithographische ?tzverfahren sind die wichtigste Technologie zur Formgebung der Bauteile, ihre sichere Beherrschung erst f?hrt zu Bauteilen in der angestrebten Qualit't und mit der n?tigen Leistung.

Die wichtigsten mikrolithographischen Na?- und Trocken?tzverfahren stellt dieses Buch vor. Um die Charakteristika und Einsatzgebiete der einzelnen Verfahren zu beschreiben, werden ihre Grundlagen erl?utert und ihre Bedeutung f?r die mikrotechnische Struktur des Bauelementes behandelt.

Dieses Buch ist in zwei Teile gegliedert. Im allgemeinen Teil wird das Verst?ndnis f?r die jeweiligen Verfahren, ihre Anwendungsm?glichkeiten und Vorz?ge vermittelt. Der zweite Teil bietet einen Katalog ausgew?hlter Vorschriften und Parameter und gibt damit allen mit lithographischen Mikrotechniken Arbeitenden einen Leitfaden zur Auswahl geeigneter ?tzverfahren.

Erscheint lt. Verlag	28.1.2005
Verlagsort	Weinheim
Sprache	deutsch
Maße	130 x 250 mm
Gewicht	666 g
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Chemie
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie
ISBN-10	3-527-60291-7 / 3527602917
ISBN-13	978-3-527-60291-9 / 9783527602919
Zustand	Neuware