Microlithography 2006
2006
SPIE Press (Hersteller)
978-0-8194-6208-4 (ISBN)
SPIE Press (Hersteller)
978-0-8194-6208-4 (ISBN)
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Proceedings of SPIE offer access to the latest innovations in research and technology and are among the most cited references in patent literature.
| Erscheint lt. Verlag | 30.12.2006 |
|---|---|
| Verlagsort | Bellingham |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-8194-6208-X / 081946208X |
| ISBN-13 | 978-0-8194-6208-4 / 9780819462084 |
| Zustand | Neuware |
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