Kontaminationsprozesse in der Ionenimplantation
Seiten
2006
|
1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-4823-9 (ISBN)
Shaker (Verlag)
978-3-8322-4823-9 (ISBN)
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- 2006/1
Reihe/Serie | Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2006/1 |
---|---|
Sprache | deutsch |
Maße | 148 x 210 mm |
Gewicht | 284 g |
Einbandart | Paperback |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
Schlagworte | 2005 • Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Kontamination • Masseninterferenzen • Simulation |
ISBN-10 | 3-8322-4823-4 / 3832248234 |
ISBN-13 | 978-3-8322-4823-9 / 9783832248239 |
Zustand | Neuware |
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