Optical Materials - Nikolay L. Kazanskiy, Vsevolod A. Kolpakov

Optical Materials (eBook)

Microstructuring Surfaces with Off-Electrode Plasma

Nikolay L. Kazanskiy, Vsevolod A. Kolpakov (Autoren)

eBook Download: PDF

2017
229 Seiten
CRC Press (Verlag)
978-1-315-27992-3 (ISBN)

This reference book concentrates on microstructuring surfaces of optical materials with directed fluxes of off-electrode plasma generated by high-voltage gas discharge and developing methods and equipment related to this technique. It covers theoretical and experimental studies on the electrical and physical properties of high-voltage gas discharges used to generate plasma outside an electrode gap. A new class of methods and devices that makes it possible to implement a series of processes for fabricating diffraction microstructures on large format wafers is also discussed.

Erscheint lt. Verlag	31.3.2017
Sprache	englisch
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Biologie
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Optik
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Plasmaphysik
	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
ISBN-10	1-315-27992-4 / 1315279924
ISBN-13	978-1-315-27992-3 / 9781315279923

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