International Conference on Microelectronic Test Structures
Seiten
1997
I.E.E.E.Press (Verlag)
978-0-7803-2783-2 (ISBN)
I.E.E.E.Press (Verlag)
978-0-7803-2783-2 (ISBN)
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This international conference covers advances in recent developments and future directions on all microelectronic test structures and their applications for characterisation of device matching, critical dimension, parameter extraction, yield reliability, and interconnection.
Erscheint lt. Verlag | 1.1.1997 |
---|---|
Verlagsort | Piscataway NJ |
Sprache | englisch |
Maße | 216 x 298 mm |
Gewicht | 953 g |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
ISBN-10 | 0-7803-2783-7 / 0780327837 |
ISBN-13 | 978-0-7803-2783-2 / 9780780327832 |
Zustand | Neuware |
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