CVD of Compound Semiconductors (eBook)

Precursor Synthesis, Development and Applications

Anthony C. Jones, Paul O'Brien (Autoren)

eBook Download: PDF

2008 | 1. Auflage
XIV, 338 Seiten
Wiley-VCH (Verlag)
978-3-527-61462-2 (ISBN)

Infos

Chemical growth methods of electronic materials are the keystone of microelectronic device processing. This book discusses the applications of metalorganic chemistry for the vapor phase deposition of compound semiconductors. Vapor phase methods used for semiconductor deposition and the materials properties that make the organometallic precursors useful in the electronics industry are discussed for a variety of materials.

Topics included:

* techniques for compound semiconductor growth
* metalorganic precursors for III-V MOVPE
* metalorganic precursors for II-VI MOVPE
* single-source precursors
* chemical beam epitaxy
* atomic layer epitaxy

Several useful appendixes and a critically selected, up-to-date list of references round off this practical handbook for materials scientists, solid-state and organometallic chemists, and engineers.
Metallorganische Precursormoleküle sind zur Herstellung von dünnen, hochreinen Schichten für Elektronikbauelemente unentbehrlich. Dieses Handbuch behandelt die Herstellung und Struktur der Precursor und ihre Anwendung in CVD-Prozessen zur Herstellung von Verbindungshalbleitern.

Unter anderem werden behandelt:

* Strategien und Techniken zur Herstellung von Verbindungshalbleitern
* Metallorganische Precursormoleküle für III-V MOVPE
* Metallorganische Precursormoleküle für II-VI MOVPE
* Einkomponentenvorstufen
* CBE-Technik
* ALE-Technik

Eine Reihe von Glossarien und ein ausführliches Literaturverzeichnis runden dieses umfassende Werk ab. Dieses Buch ist für Chemiker, Physiker, Ingenieure und Materialwissenschaftler, die sich mit der Materialentwicklung dünner Schichten befassen, zu empfehlen.

Inhalt

Basic Electronics
Introduction to Vapor-Phase Epitaxy
MOCVD
ALE
CBE
Precursor Chemistry
General Classes
Synthesis/Purification
Effects of Trace Impurities on Layer Properties
Deposition of III-V Semiconductors
MOCVD
ALE
CBE
Deposition of II-VI Semiconductors
MOCVD
ALE
Future Prospects Basic Electronics
Introduction to Vapor-Phase Epitaxy
MOCVD
ALE
CBE
Precursor Chemistry
General Classes
Synthesis/Purification
Effects of Trace Impurities on Layer Properties
Deposition of III-V Semiconductors
MOCVD
ALE
CBE
Deposition of II-VI Semiconductors
MOCVD
ALE
Future Prospects

Produkt-Details

• Erscheint lt. Verlag: 20.11.2008
• Sprache: englisch
• Themenwelt: Naturwissenschaften ► Chemie
• Themenwelt: Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie
• Themenwelt: Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
• Schlagworte: Anorganische Chemie • Chemie • Chemistry • Coordination Chemistry • Electrical & Electronics Engineering • Elektrotechnik u. Elektronik • Festkörperchemie • Festkörperchemie • Halbleiter • Inorganic Chemistry • Koordinationschemie • Materials Science • Materialwissenschaften • Oberflächenbehandlung • Oberflächenbehandlung • Physical Organic Chemistry • Physikalische Organische Chemie • semiconductors • solid state chemistry • Technik / Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik
• ISBN-10: 3-527-61462-1 / 3527614621
• ISBN-13: 978-3-527-61462-2 / 9783527614622