CVD of Compound Semiconductors

Precursor Synthesis, Development and Applications

Anthony C Jones, Paul O'Brien (Autoren)

XIV, 338 Seiten

1997
Wiley-VCH (Hersteller)
978-3-527-29294-3 (ISBN)

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Chemical growth methods of electronic materials are the keystone of microelectronic device processing. This book details the deposition methods available for different materials and makes the chemistry of deposition accessible to the materials scientist.

Zusatzinfo	179 Abb., 68 Tab.
Sprache	englisch
Maße	170 x 240 mm
Gewicht	797 g
Einbandart	gebunden
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Halbleiter • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Oberflächenbehandlung
ISBN-10	3-527-29294-2 / 3527292942
ISBN-13	978-3-527-29294-3 / 9783527292943
Zustand	Neuware