Electroceramic-Based MEMS (eBook)
XII, 414 Seiten
Springer US (Verlag)
978-0-387-23319-2 (ISBN)
Applications and Devices.- MEMS-Based Thin Film and Resonant Chemical Sensors.- Microactuators Based on Thin Films.- Micromachined Ultrasonic Transducers and Acoustic Sensors Based on Piezoelectric Thin Films.- Thick-Film Piezoelectric and Magnetostrictive Devices.- Micromachined Infrared Detectors Based on Pyroelectric Thin Films.- RF Bulk Acoustic Wave Resonators and Filters.- High Frequency Tuneable Devices Based on Thin Ferroelectric Films.- MEMS for Optical Functionality.- Materials, Fabrication-Technology, and Functionality.- Ceramic Thick Films for MEMS.- Thin Film Piezoelectrics for MEMS.- Science and Technology of High Dielectric Constant Thin Films and Materials Integration for Application to High Frequency Devices.- Permittivity, Tunability and Loss in Ferroelectrics for Reconfigurable High Frequency Electronics.- Microfabrication of Piezoelectric MEMS.- Non-Conventional Micro- and Nanopatterning Techniques for Electroceramics.- Low-Cost Patterning of Ceramic Thin Films.
| Erscheint lt. Verlag | 30.3.2006 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Electronic Materials: Science & Technology | Electronic Materials: Science & Technology |
| Zusatzinfo | XII, 414 p. |
| Verlagsort | New York |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Astronomie / Astrophysik |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| Schlagworte | Ceramics • Communication • Electronics • Ferroelectrics • microelectromechanical system (MEMS) • Sensor • Thin film |
| ISBN-10 | 0-387-23319-9 / 0387233199 |
| ISBN-13 | 978-0-387-23319-2 / 9780387233192 |
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