Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies (eBook)
464 Seiten
Elsevier Science (Verlag)
978-0-08-052195-4 (ISBN)
Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies cover the science, properties and applications of dielectrics, their preparation, patterning, reliability and characterisation, followed by the discussion of different materials including those with high dielctric constants and those useful for waveguide applications in optical communications on the chip and the package.
* Brings together for the FIRST time the science and technology of interlayer deilectrics materials, in one volume
* written by renowned experts in the field
* Provides an up-to-date starting point in this young research field.
Semiconductor technologies are moving at such a fast pace that new materials are needed in all types of application. Manipulating the materials and their properties at atomic dimensions has become a must. This book presents the case of interlayer dielectrics materials whilst considering these challenges. Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies cover the science, properties and applications of dielectrics, their preparation, patterning, reliability and characterisation, followed by the discussion of different materials including those with high dielctric constants and those useful for waveguide applications in optical communications on the chip and the package.* Brings together for the FIRST time the science and technology of interlayer deilectrics materials, in one volume* written by renowned experts in the field* Provides an up-to-date starting point in this young research field.
Cover 1
Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies 4
Copyright Page 5
Contents 14
Preface 6
Acknowledgements 10
List of Contributors 12
Chapter 1. Introduction: interlayer dielectrics in microelectronic devices 16
Chapter 2. Dielectric properties 22
Chapter 3. Characterization of low dielectric constant materials 52
Chapter 4. Compatibilities of dielectric films 92
Chapter 5. Silicon-based dielectrics 136
Chapter 6. Low-. polymers 172
Chapter 7. Chemical vapor deposition of C–F low-. materials 216
Chapter 8. Spin-on Si-based low-. materials 242
Chapter 9. Nanoporous dielectric films: fundamental property relations and microelectronics applications 276
Chapter 10. High- dielectrics grown by atomic layer deposition: capacitor and gate applications 342
Chapter 11. Dielectric materials in optical waveguide applications 364
Chapter 12. Reliability 406
Chapter 13. Future trends in silicon technologies 424
Index 444
| Erscheint lt. Verlag | 13.10.2003 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Elektrodynamik |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik | |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Quantenphysik | |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-10 | 0-08-052195-9 / 0080521959 |
| ISBN-13 | 978-0-08-052195-4 / 9780080521954 |
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